硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期项目环评公示
硅云在线
发布时间:2024/12/25 16:22:25
12月24日,北方特气(浙江)科技有限公司硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期项目环评公示。
该项目为新建,位于浙江省舟山市舟山高新技术产业园区二期,占地约388亩。项目总投资281739万元,环保投1635万元,占该总体项目总投资的0.58%。建成五个产品系列:A有机硅系列、B单晶晶体、C硅烷系列、D同位素系列、E空分系列。同时,联产氧气、氮气、氩气、氢气、二氧化碳、氟化钙和三氟化铝等。其中硅烷系列:电子级硅烷 10000 t/a、电子级四氯化硅 1000 t/a、电子级三氯化硅 1000 t/a、电子级二氯二氢硅 500 t/a;同位素系列:高纯 11BCI3电子特气 100 t/a、高纯 11BF3 电子特气 30 t/a;空分系列:氧气、氮气、氩气;副产:氢气 1763 万立方米/年、二氧化碳 883 万立方米/年。