上海汉虹：8英寸碳化硅晶体成功出炉

硅云在线发布时间：2024/9/6 15:55:49

近日，上海汉虹精密机械有限公司在拉晶实验室中，使用自行研发制造的碳化硅长晶炉成功拉制出高品质8英寸碳化硅晶体，此晶体具备优良的均匀性和低缺陷密度，直径达到200毫米标准，电阻率和晶向均符合高端应用要求，展现了汉虹出色的设备研发制造能力与工艺控制水平。

据悉，本次采用的碳化硅长晶炉，采用上进料方式，完全自动化控制，而且通过热场旋转及热场工艺稳定性设计，能够有效调整径向和轴向温度梯度，确保晶体生长过程中温度的均匀性和稳定性。